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玻璃基板的经过离子束处理,可以去除生产过程中遗留的各种痕迹,辊印,表面腐蚀，表面湿气。使玻璃表面变得新鲜。玻璃经过离子源高压清洗可以大幅降低表面能，减小接触角。
金属材料在生产过程中,放置过程中，表面会形成一层氧化物保护膜。为了提高膜层和金属基体的结合力，就必须去除金属表面氧化物,显现出新鲜的金属表面。通过向真空室加入氩气和氢气，离子源可以在低压，大电流的情况下，有效去除金属表面氧化物。
