阳极层型离子源

阳极层型离子源介绍

阳极层型离子源由阳极,阴极,磁场组成,当气体流经离子源时,施加在阳极的电压离化气体并加速。该离子束能量范围从100至1500电子伏特。离子电流最高可达25毫安/厘米（相对于离子源长度）。阳极层型离子源的长度从350毫米至2100毫米。

阳极层型离子源的特点

• 结构简单，无栅极和发射电子的阴极

• 产生中性的离子体，基体表面不会产生电荷积累

• 离子能量可调节

• 多种用途，包括：离子辅助，前清洗，涂层剥离，PECVD

• 工作范围可从1.0帕到0.05帕。

• 可以通入各种气体：氮气，氩气，氢气，氧气，乙炔气等

• 无污染

阳极层型离子源的应用

阳极层型离子源可以真空清洗高分子化合物,玻璃,金属材料，通过去除这些材料表面的各种杂质，水分，氧化物或者表面改性，来提高膜层和基体的结合力。主要应用于高分子化合物的清洗；玻璃的清洗；金属的清洗。